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FMSR-AB高精度氣浮轉(zhuǎn)臺：我們研發(fā)的FMSR-AB系列氣浮轉(zhuǎn)臺采用經(jīng)過特殊設(shè)計(jì)的空氣軸承,該軸承分別對剛度、承載能力和剛度進(jìn)行了優(yōu)化。與傳統(tǒng)的軸承相比,采用氣體為潤滑劑,因此所有運(yùn)動都是無接觸的,因此在整個使用壽命之內(nèi),設(shè)備的性能保持不變,并且無需進(jìn)行特殊維護(hù)。該旋轉(zhuǎn)臺采用氣體軸承可提供平穩(wěn)的運(yùn)動并擁有極低的俯仰、偏擺、滾動、偏航和線性誤差。

FMSR-DHA系列高性能直驅(qū)旋轉(zhuǎn)臺：?FMSR-DHA系列是采用絕對值編碼器有鐵芯電機(jī)。與原來的FMSR-DH 系列相比,FMSR-DHA系列不懼怕灰塵和油污等惡劣的應(yīng)用環(huán)境。且使用的是絕對值編碼器,而不是增量值編碼器。

FMSR-DH系列高性能直驅(qū)旋轉(zhuǎn)臺：我們在FMSR-D系列的基礎(chǔ)上推出了新的FMSR-DH系列直驅(qū)旋轉(zhuǎn)臺,直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)FMSR-DH系列與FMSR-D系列類似,同樣是無鐵芯型永磁電機(jī)。不同的是其通過獨(dú)到的機(jī)械設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)電機(jī)的扁平特性以及大中孔特性。適用于對高度有特殊要求的應(yīng)用。

FMSR-DA系列高性能直驅(qū)旋轉(zhuǎn)臺：FMSR-DA系列是采用 Biss-協(xié)議的絕對值編碼器有鐵芯電機(jī)。與原來的FMSR-D 系列相比，F(xiàn)MSR-DA系列不懼怕灰塵和油污等惡劣的應(yīng)用環(huán)境。且使用的是絕對值編碼器,而不是增量值編碼器。重復(fù)精度可以達(dá)到 士1.5 arc sec以內(nèi)。最重要的一點(diǎn)是,不用做誤差補(bǔ)償,絕對精度可以達(dá)到士15 arc sec以內(nèi)。

FMSR-D系列高性能直驅(qū)旋轉(zhuǎn)臺：隨著直驅(qū)技術(shù)不斷進(jìn)步,直驅(qū)電機(jī)憑借高轉(zhuǎn)速,高精度,高承載等特點(diǎn)逐漸取代了科研和工業(yè)上大量應(yīng)用的“電機(jī)+蝸輪蝸桿”結(jié)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)臺。我們推出的FMSR-D系列直驅(qū)旋轉(zhuǎn)臺,涵蓋了有鐵芯電機(jī)、無鐵芯電機(jī)、絕對式光柵尺、增量式光柵尺等技術(shù),以其高一個數(shù)量級的精度、速度以及更美觀的外形設(shè)計(jì)取代了傳統(tǒng)蝸輪蝸桿結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)臺。

FMS80V系列真空步進(jìn)電機(jī)高精度通用平移臺：在FMS80基礎(chǔ)上，我們設(shè)計(jì)了FMS80V系列真空專?位移臺。FMS80V廣泛適用于真空環(huán)境的應(yīng)?中，在-196 ~ +250℃的高低溫環(huán)境、多種輻射環(huán)境以及真空度10-7 ~ 10-3Pa環(huán)境中仍然能夠保持高精度運(yùn)行。

FMS120V系列真空步進(jìn)電機(jī)高精度通用平移臺：在FMS120系列基礎(chǔ)上，我們設(shè)計(jì)了FMS120V系列真空專用位移臺。FMS120V廣泛適用于真空環(huán)境的應(yīng)用中，在-196 ~ +250℃的高低溫環(huán)境、多種輻射環(huán)境以及真空度10-7~ 10-3Pa環(huán)境中仍然能夠保持高精度運(yùn)行。

FMS80VR真空步進(jìn)電機(jī)高精度整體臺面平移臺：在FMS80R系列基礎(chǔ)上，我們設(shè)計(jì)了FMS80VR系列真空專用位移臺。FMS80VR廣泛適用于真空環(huán)境的應(yīng)用中，在-196 ~ +250℃的高低溫環(huán)境、多種輻射環(huán)境以及真空度10-7~ 10-3Pa環(huán)境中仍然能夠保持高精度運(yùn)?。